XYZ三轴式精密平台

技术参数：
1.  采用单片机控制，运行机构是直线电机与传统的伺服电机+螺杆或同步带相比较可以获得更高的重复定位和高速度。
2.  重复定位精度：±0.5μm 。 定位精度  ：±1μm 。最高速度　：1000mm/s。
3.  负载可以达到3公斤。可以与激光测量仪，激光切割机，点胶机等配合实现高精密的测量切割点胶放点等。